Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
Dipl.-Ing. Walter Olbrich (auth.)Категорії:
Рік:
1994
Видання:
1
Видавництво:
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Мова:
german
Сторінки:
126
ISBN 10:
3642478921
ISBN 13:
9783642478925
Серії:
IPA-IAO — Forschung und Praxis 202
Файл:
PDF, 3.67 MB
IPFS:
,
german, 1994