Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf
Dr.-Ing. Oliver Morlok (auth.)Категорії:
Рік:
1998
Видання:
1
Видавництво:
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Мова:
german
Сторінки:
147
ISBN 10:
3662066564
ISBN 13:
9783662066560
Серії:
IPA-IAO — Forschung und Praxis 268
Файл:
PDF, 3.62 MB
IPFS:
,
german, 1998